CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS

CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS

CKD氣動閥/回吸閥一體型AMDS

回吸閥AMS，氣動閥/回吸閥一體型AMDS，先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器PMP，手動調(diào)節(jié)器PYM，PMM，液位傳感器KML，電動流量調(diào)節(jié)閥MNV，手動流量調(diào)節(jié)閥FMD00，LYX

產(chǎn)品介紹

回吸閥AMS

結(jié)構(gòu)緊湊，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圓化學排放不良等問題。

可根據(jù)流體粘度進行優(yōu)化的定制設(shè)計。

產(chǎn)品特點

[防止液體滴落]

與慢速型速度控制器組合可調(diào)節(jié)至最佳液體排放。

【工作原理】

當流體流動時，空氣壓力作用于操作口，使隔膜下降。

當流體停止時，來自操作口的空氣被釋放到大氣中，彈簧的力使隔膜上升，增加吸入閥內(nèi)的容積并防止流體滴落。

氣動閥/回吸閥一體型AMDS

結(jié)構(gòu)緊湊，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圓化學排放不良等問題。

可根據(jù)流體粘度進行優(yōu)化的定制設(shè)計。

集成氣動閥減少了管道工作并使其更加緊湊。

先導(dǎo)式調(diào)節(jié)器PMP

這是一種通過先導(dǎo)空氣控制來穩(wěn)定化學溶液/純水供給部分的壓力波動的調(diào)節(jié)器。與電動氣動調(diào)節(jié)器結(jié)合，還可以通過遠程控制改變設(shè)定壓力。

手動調(diào)節(jié)器PYM·PMM

用于純水等壓力控制的手動調(diào)節(jié)器。

產(chǎn)品特點

[壓力控制]

手動式，強調(diào)易用性。

液位傳感器KML

高精度檢測純水、酸、堿、溶劑等各種流體的液位，并以電信號輸出。

產(chǎn)品特點

[可遠程控制]（KML703系列）

傳感器部分和顯示部分是分離的，因此操作顯示部分可以安裝在遠離液罐的位置。

內(nèi)置通訊功能（RS485）允許從主機進行操作。

【耐環(huán)境壓力波動】（KML703系列）

壓差法檢測環(huán)境壓力和水位之間的壓差，因此通過將檢測管和環(huán)境檢測管設(shè)置在相同的壓力環(huán)境中，可以進行以下檢測：能夠抵抗環(huán)境壓力波動。

[提高耐用性]（KML502、MKML2、MXKML2）

通過改變隔膜材料，提高了耐用性。

[提高便利性] (MKML2、MXKML2)

通過采用塊結(jié)構(gòu)可以改變站數(shù)。

電動流量調(diào)節(jié)閥MNV

這是電動流量調(diào)節(jié)閥（針閥）?？赏ㄟ^遠程控制改變設(shè)定流量。

手動流量調(diào)節(jié)閥FMD00

這是手動流量調(diào)節(jié)閥（針閥）。

LYX

可以調(diào)節(jié)微小流量的手動流量調(diào)節(jié)閥。