研究所HRD-THERMAL熱成像顯微鏡TM3日本進(jìn)口

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熱成像顯微鏡TM3

產(chǎn)品介紹

熱成像顯微鏡TM3

用于測(cè)量薄膜和微區(qū)域的熱流率

特征

熱物理顯微鏡是一種測(cè)量熱滲流率的設(shè)備，熱滲流率是熱物性值之一。

它是一種可以在點(diǎn)、線和平面上測(cè)量樣品熱物理性質(zhì)的裝置。

可以測(cè)量微米量級(jí)的熱物理性質(zhì)分布，這在傳統(tǒng)的熱物理性質(zhì)測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。

這是一臺(tái)能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸式高分辨率測(cè)量的設(shè)備。

檢測(cè)光斑直徑為3μm，可以高分辨率測(cè)量微小區(qū)域的熱物理性質(zhì)（點(diǎn)、線、面測(cè)量）。

由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，因此可以測(cè)量薄膜、多層膜和塊狀材料。

也可以測(cè)量基板上的樣品。

這是一種使用激光束的非接觸式測(cè)量。

可以檢測(cè)薄膜下的裂紋、空隙和分層。

熱物理顯微鏡測(cè)量原理（概要）

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光定期加熱。

金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的特性（熱反射法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測(cè)激光的反射強(qiáng)度變化來測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。去做。

熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位滯后。該相位延遲隨樣品的熱特性而變化。通過測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲獲得熱流率。

在試料上形成Mo薄限，用加熱用激光對(duì)表面進(jìn)行加熱，從Mo薄海傳送到試料上，試料表面的溫度響應(yīng)會(huì)產(chǎn)生相位延遲，該相位延遲會(huì)根據(jù)試料的熱特性而變化。由于Mo的反射率具有隨溫度而變化的性質(zhì)，因此通過捕捉照射到與施加激光相同接觸的檢測(cè)用激光的強(qiáng)度變化，測(cè)定表面的相好溫度變化。通過這種測(cè)量方法，可以進(jìn)行高分辨率的熱浸率測(cè)量。（ServmoryFrectance法）可選位移可計(jì)算體積熱容及傳導(dǎo)率。